Advances in resist technology and processing VIII - 4-5 March 1991, San Jose, California
- Författare
- (Hiroshi Ito, chair/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1991 | USA | xii, 679 sidor. |